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半导体真空设备使用的常见真空泵常见故障原因和处理办法

来源:设备管理与维修 作者:刘豪;张强;赵志昊
发布于:2020-11-19 共2306字

  摘要:介绍半导体真空设备使用的常见真空泵,归纳总结几种典型的真空泵常见故障原因和处理办法。

  关键词:半导体设备真空泵; 设备维修; 故障分析; 旋片泵; 分子泵; 低温泵;

目录

  0引言…………………………………………………………………………1

  1常见真空泵的分类和性能指标…………………………………………………………………………2

  2常见真空泵故障分析…………………………………………………………………………3

  2.1旋片式油封式机械泵…………………………………………………………………………4

  2.2旋片式油封式机械泵的常见故障现象分类…………………………………………………………………………4

  2.3涡轮分子泵…………………………………………………………………………5

  2.4低温泵…………………………………………………………………………5

  3结束语…………………………………………………………………………6

  文内图表…………………………………………………………………………7

  图1旋片泵…………………………………………………………………………7

  表1涡轮分子泵故障…………………………………………………………………………7

  图2低温泵…………………………………………………………………………7

  表2低温泵故障…………………………………………………………………………7

  参考文献…………………………………………………………………………8

半导体

  0 引言

  随着经济快速增长,半导体工业也随之不断发展,真空设备在半导体行业中的应用也更加广泛,如干法类设备、真空镀膜类设备、材料生长类设备和掺杂类设备,等等。这些真空设备中用来获取真空的泵组,也成为影响设备性能的核心组件之一。为保障设备正常运行,对真空泵组的常见故障进行分析和处理也变得越加重要。

  1 常见真空泵的分类和性能指标

  真空泵是用以产生、改善和维持真空的装置。按其工作原理,基本上分为气体传输泵和气体捕集泵[1].区别是对气体的处理方式不同,气体传输泵是以不停吸入和排出气体来达到抽气目的的真空泵,而气体捕集泵则是将被抽气体吸附或凝结在泵内表面上来获取真空。气体传输泵又分为容积泵和动量传输泵,气体捕集泵分为吸附泵和低温泵。

  半导体设备中常见的真空泵为油封式机械泵,干式真空泵,罗茨真空泵,分子真空泵,扩散泵和冷凝泵等。

  各种不同的真空泵,均有方法来检测其性能,其主要性能指标有极限压力、抽气速率和流量[1].极限压力是指真空泵与检测容器相连后,长时间抽气后容器压力能达到的极限值,单位为Pa.在真空泵的吸气口处,单位时间内流过的气体量称为泵的流量,单位为Pam3/s.抽气速率则是指在真空泵吸口处,单位时间内流过的气体体积,抽气速率一般与气体种类有关,泵给定的抽气速率,如无特殊说明,多指的抽空气。通过上述3个指标,可以判断真空泵的工作性能,为真空泵的检修与维护提供判断基准。

  2 常见真空泵故障分析及维修办法

  2.1 旋片式油封式机械泵

  对于中小型真空设备,旋片式油封式机械泵是最基本的真空获取设备之一,属于低真空泵,工作压力范围为101 325~1×10-2Pa.它可单独使用,也可以作为其他高真空泵的前级泵使用。旋片式油封式机械泵(图1)可用于抽取干燥气体和一定量的可凝气体。

  2.2 旋片式油封式机械泵的常见故障现象分类

  2.2.1 真空性能较差

  (1)泵体内油有问题,机械泵性能表现和油的质量及纯度有着非常密切的关系。泵在使用过程中,所抽设备里的杂质和水容易通过抽气进入真空泵油中,这种情况会严重影响机械泵的性能。因此,需要经常对真空泵油进行取样观察。如泵油有颗粒沉淀物、有水沉积、色彩较暗,则需要更换泵油并检查进气口过滤器滤芯是否有损坏。注意不同种类或牌号的真空泵油不可混合使用。

  图1 旋片泵  

  (2)真空系统泄漏,检查设备真空系统并检漏。

  (3)泵内部元件损坏,拆开机械泵,检查泵体旋片磨损情况,观察泵体表面是否有划痕,如泵体内较脏或有粘糊状物质,则需清洗泵体和旋片后重新安装。根据经验,如泵体和旋片磨损较轻微,清洗后泵的真空度会有所下降,需测试是否可满足设备真空性能需求。如磨损严重,则需更换旋片或泵体,由于机械泵旋片和泵体之间间隙直接影响机械泵抽气性能,一般需配合加工。如只更换其中之一,往往难以修复,需配合研磨。

  2.2.2 机械泵无法正常旋转

  检查机械泵的电气连接,如是三相机械泵则确定其是否缺相,单相机械泵则检查其电容。如机械泵供电正常,则需从联轴器处将机械泵拆分为电机和泵体两个部分,断电后分别手试旋转电机轴和泵体联轴器,看是否有较大阻力,如电机无法旋转则需拆开检查其内部转子和轴承是否损坏;如泵体部分卡死则需拆下泵体内旋片部分进行检查,如有必要,可清洗泵体内部。

  2.2.3 机械泵声音异常

  (1)输入电压问题。检查输入电压是否异常,检查电源,开关,线路连接情况。

  (2)泵内油位太低,检查油窗,补充真空泵油。

  (3)弹性联轴器损坏。检查联轴器是否损坏,更换元件。

  2.3 涡轮分子泵

  在半导体真空设备中,涡轮分子泵同样也应用十分广泛。其是利用分子牵引(高速刚体表面携带气体分子按一定方向运动的现象)以高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合实现抽气。涡轮分子泵为高真空泵,需配合前级泵使用,将其泵出口的气体抽走,其使用真空范围为1×10-1~<1×10-5Pa.涡轮分子泵内部结构比较复杂,主要故障有叶片或泵体损坏,异常振动和噪声,真空度问题,泵过热,分子泵转速波动超标或停机等[2].其中叶片或泵体损坏一般较为严重,需返厂维修。单纯泵的真空度问题原因较多,且出现概率较低,限于篇幅,不再赘述,其余故障简要分析见表1.

  表1 涡轮分子泵故障

  图2 低温泵  

  表2 低温泵故障

  2.4低温泵

  低温泵是利用低温(低于100 K即-173.15℃)表面冷凝和吸附气体的物理过程来获得和保持真空的装置(图2)。其抽速大(理论比抽速可达11.6 L/(S×cm2),极限真空度高(1×10-13Pa),清洁无油且可以长期有效运行,在半导体真空设备中应用广泛。

  低温泵系统主要组成部分包括制冷单元、压缩单元和辅助元件。制冷单元包括膨胀机,一、二级冷头,低温抽气冷阵和泵体。压缩单元由氦压缩机、换热器和油气分离器等构成。辅助单元则主要包括吸附器和阀门等辅助元件。低温泵常见故障见表2.

  3结束语

  真空泵是半导体真空设备的一个重要部分。真空泵运行情况的优劣直接影响设备的经济性和安全性。对常见泵的故障现象和维修手段进行总结,可有效节约维修时间,及时发现故障和处理,保证设备安全经济运行。

  参考文献
  [1]徐成海。真空低温技术与设备第二版[M].北京:冶金工业出版社,2007.
  [2]张明君,刘有海,王文升,等,高速小型复合分子泵可靠性建模与故障分析[J].制造业自动化,2016,38(8):101.

作者单位:重庆声光电有限公司
原文出处:刘豪,张强,赵志昊,丁文杰.半导体设备真空泵常见故障分析及维修[J].设备管理与维修,2020(05):44-45.
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